I. Portadores de obleas y componentes de transporte
• Nombres de materiales: PFA (resina perfluoroalcoxi), PEEK (polieteretercetona), PP (polipropileno), PC (policarbonato), PEI (polieterimida), PC/PVC antiestático, POM conductor
• Componentes típicos :
• Carro de transferencia/portador de obleas (resistente a la temperatura, antiestático, de baja precipitación, utilizado para almacenamiento y transporte de obleas)
• Wafer Boat (portador de procesos químicos de alta temperatura, requiere resistencia al desgaste y a la corrosión química)
• Caja de transferencia de obleas con apertura frontal (alta transparencia, baja desgasificación, protege la limpieza de las obleas)
• Wafer Cassette (transporte por lotes, baja liberación de partículas)
• Ventajas de compatibilidad:
• PFA/PTFE: precipitación de iones metálicos extremadamente baja, lo que garantiza procesos de alta pureza
• PEI: Alta transparencia, resistencia a altas temperaturas (aproximadamente 170°C), adecuado para ventanas de visualización FOUP
• PC/PVC antiestático: suprime el daño electrostático (ESD) • Aproximadamente 10⁶ Ω de magnitud, se utiliza para manipular plantillas
• POM conductivo/ESD para componentes de transporte que son más sensibles a la electricidad estática
II. Componentes de pulido químico mecánico (CMP)
• Nombres de materiales: PEEK, PPS (sulfuro de polifenileno)
• Componentes típicos:
• Anillo de fijación CMP (fija obleas/cristales de silicona, resistente al desgaste, resistente a productos químicos, prolonga la vida útil)
• Soporte de la almohadilla de pulido (mantiene la morfología de la superficie de la almohadilla de pulido y la estabilidad del proceso)
• Ventajas de compatibilidad:
• PEEK: Resistencia a altas temperaturas (aprox. 260°C), resistencia química, adecuada para CMP de alta carga
• PPS: alta rigidez, proporciona soporte estructural estable
III. Sellado de procesos y componentes resistentes a la corrosión
• Nombres de materiales: PTFE (politetrafluoroetileno), PFA, PVDF (fluoruro de polivinilideno), PEI
• Componentes típicos:
• Revestimientos de tuberías/válvulas (transporta ácidos fuertes, álcalis y productos químicos de alta pureza, liberación de iones metálicos extremadamente baja)
• Revestimientos del cuerpo de la bomba/depósito (almacena soluciones de grabado, agentes de limpieza y otros medios corrosivos)
• Juntas y sellos resistentes a la corrosión (resistencia a...) (Para medios altamente corrosivos como HF/HNO₃)
• Ventajas de compatibilidad:
• PTFE/PFA es resistente a casi todos los ácidos y álcalis fuertes, adecuado para el transporte de fluidos de alta pureza.
• PVDF combina resistencia química y UV, adecuado para tanques de almacenamiento farmacéutico.
• PEI tiene baja liberación de gas, es compatible con componentes de sala limpia y compatibles con aspiradoras.
IV. Componentes de control de contaminación y limpieza de obleas
• Materiales: PFA, PTFE, PVDF, PEEK
• Componentes típicos:
• Tanque/cesta de limpieza (resistente a altas temperaturas y a ácidos/álcalis, lo que reduce la contaminación secundaria)
• Cartucho de filtro de gas (admite medios de alta pureza y baja liberación de impurezas)
• Componentes del sistema de pulverización química (resistentes a la corrosión por pulverización química)
• Ventajas de compatibilidad:
• PTFE/PFA: Baja precipitación, manteniendo la limpieza del proceso de limpieza.
• PEEK: resistente a altas temperaturas y a productos químicos, adecuado para entornos de limpieza a altas temperaturas
V. Pruebas de embalaje y componentes de precisión
• Materiales: PEEK, PAI (Poliamida-Iimida), PI (Poliimida), PPS, PC
• Componentes típicos:
• Toma de prueba (resistente a altas temperaturas, dimensionalmente estable, lo que garantiza conexiones eléctricas confiables)
• Bandeja IC (soporte de embalaje y pruebas, baja absorción de humedad, resistente a la temperatura)
• Estructura de soporte de la tarjeta de sonda (posicionamiento de alta precisión, baja expansión térmica)
• Componentes de aislamiento eléctrico (aislamiento y protección, prevención de cortocircuitos y fugas)
• Ventajas de compatibilidad:
• PEEK: Alta rigidez, resistencia a altas temperaturas (aprox. 250°C), adecuado para fijaciones de precisión.
• PI/PAI: Resistencia a altas temperaturas (aprox. 260°C+), adecuado para componentes en ambientes extremos.
• PPS: Químicamente resistente y de alta resistencia, adecuado para componentes estructurales con larga vida útil.
• PC aislante: Combina aislamiento y maquinabilidad, adecuado para carcasas y componentes estructurales.
VI. Otros componentes auxiliares
• Nombres de materiales: PC/PVC antiestático (ventanas y láminas para salas blancas), POM (polioximetileno), PA66 (nylon 66), baquelita aislante (resina fenólica)
• Componentes típicos:
• Ventanas para salas blancas, paneles de equipos (antiestáticos, fáciles de limpiar)
• Engranajes impulsores, cojinetes, rieles guía (autolubricantes, baja fricción, alta precisión)
• Componentes de soporte estructural del equipo (resistencia al impacto, estabilidad dimensional)
• Aislamiento eléctrico de componentes estructurales (soportes, empaquetaduras, mejorando la seguridad y confiabilidad)
• Ventajas de compatibilidad:
• POM/PA66: Autolubricante, baja fricción, mejorando la eficiencia de la transmisión y la vida útil.
• PC/PVC antiestático: Adecuado para zonas sensibles a ESD.
• Baquelita aislante: Material aislante clásico, resistente al calor y dimensionalmente estable.
VII. Consideraciones de selección y compatibilidad
• Protección ESD: elija soluciones antiestáticas (resistencia superficial de aproximadamente 10⁶–10⁹ Ω) o conductoras (menor resistencia superficial) según el área, lo que garantiza la seguridad tanto del personal como del equipo.
• Resistencia química y limpieza: Se prefieren PTFE/PFA/PVDF para procesamiento/grabado/limpieza en húmedo; PEI/PPSU se consideran por su alta limpieza y baja liberación de gases.
• Temperatura y resistencia: Se prefiere PEEK (aproximadamente 250 °C) para sujeción y aislamiento a altas temperaturas; PI/PAI (aproximadamente 260°C+) es opcional para ambientes extremos.
• Precisión y resistencia al desgaste: Se prefiere POM/PA66 para engranajes/deslizadores/cojinetes; PEEK se utiliza para cargas pesadas o altas temperaturas.
• Vacío y compatibilidad: Materiales con baja liberación de gases (como... PEI/PPSU) Adecuados para vacío y entornos de alta limpieza.
VIII. Opciones de entrega que ofrecemos
• Gama de materiales: PEEK, PEI, PPSU, PSU/PES, PC, PP, PE, PTFE, PFA, FEP, PVDF, ETFE, PA66, POM, Baquelita, etc.
• Métodos de procesamiento: mecanizado de precisión CNC, corte con máquina de grabado, doblado/unido/soldadura en caliente, etc.
